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龙图光罩获得掩膜版的参数测量方法相关专利

2025-02-15 生产实力

  金融界2024年12月20日音讯,国家知识产权局信息数据显现,珠海市龙图光罩科技有限公司获得一项名为“掩膜版的参数测量方法、设备、设备、体系和程序产品”的专利,授权公告号CN 118778352 B,请求日期为2024年6月。

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